熱式質(zhì)量流量計是一種利用傳熱原理，即流動流體與熱源(流體中被加熱的物體或加在測量管上的發(fā)熱體)之間的熱交換關(guān)系來測量流量的儀器。目前主要用于測量氣體。

20世紀90年代初，熱式質(zhì)量流量計的全球銷量約占流量計的8%，約為45000臺。90年代中期國內(nèi)銷量估計在每年1000臺左右。過去，過程工業(yè)中使用的儀器主要是熱分布的，但散熱(或冷卻)效應(yīng)是近年來發(fā)展起來的。

熱式質(zhì)量流量計有兩種類型，熱分布流量計，它利用流動流體傳遞的熱量來改變測量管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)，稱出了熱TMF，利用散熱(冷卻)效應(yīng)。另外，由于結(jié)構(gòu)檢測元件伸入測量管內(nèi)，所以也稱為浸入式或侵入式。一些在使用過程中從管道外部插入工藝管道的儀器稱為插入式。

熱式質(zhì)量流量計可以測量低流速(氣體0.02~2m/s)下的微流量;浸沒式TMF可以測量低-中-高流速(氣體2-60m/s)，而插入式TMF更適合大管徑。

熱式質(zhì)量流量計沒有運動部件，沒有分流管的熱分布儀表沒有自由流動部件，壓力損失很小;熱分布儀表和帶分流管的浸入式儀表雖然測量管中有節(jié)流片，但壓力損失很小。

熱式質(zhì)量流量計的表現(xiàn)相對可靠。與導(dǎo)出的質(zhì)量流量計相比，它不需要溫度傳感器、壓力傳感器和計算單元，只需要流量傳感器，組成簡單，故障概率低。

熱式質(zhì)量流量計用于雙原子氣體，如H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體。不需要使用這些氣體進行特殊校準，而是直接使用空氣校準儀器。